四氯化硅
分子式：SiCl4
相对分子质量：169.89
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检测项目 |
技术指标 |
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外观（常温常压） |
无色或淡黄色易挥发液体 |
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四氯化硅，W/% ≥ |
99.50 |
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氯硅烷聚合物，W/% ≤ |
0.10 |
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一甲基三氯硅烷，W/%≤ |
0.10 |
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铁（Fe),铝（Al),铬（Cr),钛（Ti),铜（Cu),锰（Mn),镍（Ni)总量/（mg/g) |
0.10 |
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硼（B) /（mg/g) |
0.50 |
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磷（P) /（mg/g) |
0.10 |
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