项目

指标

I类

II类

优等品

一等品

合格品

优等品

一等品

合格品

三氯氢硅 >

99.8

99.5

99.0

99.5

99.0

98.5

二氯二氢硅 w/% <

0.05

0.20

0.30

0.10

0.20

0.50

四氯化硅 w/% <

0.15

0.20

0.50

0.20

0.50

0.70

氯硅烷聚合物 w/% <

0.05

0.10

0.30

0.05

0.10

0.30

铝（Al1)/(ng/g) <

50

100

200

-

-

-

磷（P）P)/(ng/g) <

20

30

50

-

-

-

铁（Fe）、铬(Cr)、铜(Cu)、锌（Zn）总量／/(ng/g) <

200

300

500

-

-

-

硼（B）、镓（Ga)、铟（In）总量 /(ng/g) <

50

100

200

-

-

-

总碳（以C计）)/(μg/g) <

200

-

-

-